近日，在浙江溫州召開的“第四屆中國新材料產(chǎn)業(yè)大會集成電路材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇”上，廣州工控旗下廣鋼氣體自主研發(fā)的Super-N系列電子級氣體分離裝置榮獲“第四屆中國新材料產(chǎn)業(yè)大會集成電路材料企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新二等獎”，公司的自主科技創(chuàng)新能力再次得到業(yè)界的認(rèn)可。

滿足國內(nèi)*高標(biāo)準(zhǔn) 護(hù)航“中國芯”

廣鋼氣體作為國內(nèi)*的電子大宗氣體綜合服務(wù)商，主營業(yè)務(wù)聚焦電子大宗氣體為核心的工業(yè)氣體。高純氮?dú)馐请娮有袠I(yè)不可缺少的基礎(chǔ)性原材料，而在集成電路生產(chǎn)過程中，氣體中的雜質(zhì)將會直接影響芯片的壽命和性能。為滿足電子大宗客戶大規(guī)模ppb級（即十億分之一的雜質(zhì)含量，目前國內(nèi)*高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)）超高純氮?dú)庑枨�，廣鋼氣體自主研發(fā)制造了集可靠性高、性能穩(wěn)定、能耗低、自動化程度高的電子超高純氣體分離裝置——Super-N系列產(chǎn)品線。

此產(chǎn)品線生產(chǎn)的氮?dú)馄焚|(zhì)極高，可滿足氮?dú)庠?000Nm3/h及以上的需求，不通過后置純化系統(tǒng)即可直接產(chǎn)出雜質(zhì)含量控制在1ppb以內(nèi)的氮?dú)�，還可穩(wěn)定生產(chǎn)并持續(xù)供應(yīng)符合國際先進(jìn)品質(zhì)要求的9N級超高純氮?dú)猓�同時也能生產(chǎn)普氧、超純氧、液氧提質(zhì)等，滿足集成電路制造對氣體供應(yīng)能力的嚴(yán)苛要求，為進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)“廣鋼氣制造中國芯”目標(biāo)提供了硬件保障。

自研填補(bǔ)技術(shù)* 打破外資制約

廣鋼氣體Super-N系列產(chǎn)品線是國內(nèi)首套具有自主知識產(chǎn)權(quán)技術(shù)的超高純氣體制取系統(tǒng)，目前已應(yīng)用在安徽滁州現(xiàn)場。其生產(chǎn)的產(chǎn)品品質(zhì)和國際公司一致，技術(shù)參數(shù)已*國內(nèi)廠家，并與國際*廠家持平。而相對國際*廠家，廣鋼氣體的價格與交付周期都更有競爭力，在國內(nèi)市場打破了德國林德集團(tuán)、法國液空集團(tuán)以及美國空氣化工這國際三大氣體公司在該領(lǐng)域的長期壟斷，與三大國際氣體公司形成“1+3”競爭格局，打破了外資制約。

下一步，廣鋼氣體將通過進(jìn)一步研發(fā)和推廣Super-N系列產(chǎn)品線，培養(yǎng)本土高精尖的專業(yè)技術(shù)人才，積累國際*的氣體裝備經(jīng)驗(yàn)技術(shù)。同時，廣鋼氣體也將把平臺面向國內(nèi)氣體行業(yè)開放共享，促進(jìn)民族工業(yè)氣體高質(zhì)量發(fā)展，助力國內(nèi)半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)升級，集中力量賦能打造“中國芯”。