由湖南超硬材料協(xié)會舉辦的2007全國超硬材料行業(yè)會議于2007年10月10-14日在張家界舉行。
應邀到會的行業(yè)專家分別就我國工業(yè)金剛石行業(yè)的現(xiàn)狀和新的技術等進行了交流和探討。到會的專家學者有:方嘯虎、姜榮超、董長順、鄒建華、張建安、徐國平等;參加會議的企業(yè)有:河南黃河旋風股份有限公司、金瑞新材料科技股份有限公司、北京安泰超硬材料有限公司、桂林冶金機械廠、湖南飛碟新材料公司、北京天地東方超硬材料股份公司、北京有色金屬研究總院、國防科技大學綜合實驗工廠、北京電加工研究所、元素六金剛石(蘇州)有限公司、中南金剛石有限公司、中國工業(yè)金剛石信息網等100多人出席了會議。
會議就金剛石行業(yè)的發(fā)展狀況及*新進展、金剛石工具在半導體工業(yè)的應用、CVD金剛石技術及其進展、金剛石復合片(PDC)的在油田、礦山等方面的應用以及硬質合金的發(fā)展動態(tài)等方面進行了廣泛的交流。
這次會議特別提到金剛石制品在半導體領域的應用,半導體加工用金剛石工具屬于高精度加工工具,采用超細金剛石,超薄的切割刃,超高轉速磨削與鋸切,要求加工精度高。因此制造難度大,技術門檻高,目前主要為國外金剛石工具制造商所控制。隨著我國信息產業(yè)半導體工業(yè)的高速發(fā)展,我國集成電路(IC)業(yè)的高速增長,為半導體硅材料加工提供了巨大的潛在市場。在半導體加工中在多個環(huán)節(jié),多個工序中要使用金剛石工具,如晶錠裁切整圓,晶圓切割,CMP化學機械拋光墊的修整,晶圓倒角,背部減薄與劃片等,這給金剛石工具提供了巨大潛在市場。根據(jù)我國金剛石工具制造業(yè)發(fā)展歷程與經驗,要知難而進,迎難而上,采取引進與自主研發(fā)相結合,金剛石工具與半導體生產企業(yè)密切合作,產學研相結合,要勇于進入我們目前還不熟悉的制造業(yè),積極研發(fā)半導體工業(yè)硅材料加工用金剛石工具,是我們的時代責任。